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Manz的濕製程生產解決方案在顯示器產業有著30年以上的長足技術與經驗,包括面板清洗、顯影、黃光蝕刻及剝膜。IGZO面板的電子移動速度快,在生產製程主要是採用high ppi製程,對於玻璃基板表面的潔淨度、精度跟微粒(particle)的要求與一般非晶矽面板(a-si LCD)相比較為台中生育補助嚴苛。
目前市場上的面板技術各有優缺點,而手機、平板電腦等行動裝置要求高解析度、更省電,LTPS與IGZO在解析度及省電效果的表現差異不大,但以量產成本而言,LTPS的投資生產成本遠高於IGZO,且IGZO僅需在現有的a-si產線基礎上增加設備投資即可投產,IGZO技術突破發展瓶頸,投資成本得以下降,產品表現性價比高,目前已成為中尺寸行動裝置的主流趨勢。以往的IGZO受制於金屬材料的製程研發、專利取得以及良率等問題,具備量產能力的面板廠屈指可數。
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一般非晶矽面板對於微粒清洗要求為200顆以內,去除率≧95%;Manz的G6 IGZO濕製程設備能有效控制其微粒數量在100顆以內,去除率(remove rate)≧99%,完美達標G6 IGZO面板生產對於濕製程設備的嚴峻要求。
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全球技術領先的顯示器生產領導設備商—Manz亞智科技憑藉創新的研發設計、專業的生產與製程技術,成功獲得中國第一座未就業育兒津貼台北市G6 IGZO廠濕製程設備訂單,第一批設備已於今年2月底交付安裝,為2017年奠定了一個良好的開始。
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